莫清文听着姜蕴宁的话,沉思片刻,觉得这是目前最稳妥的处理方式。
外部电网以前从未出现过毫无预兆的断电,即便断电,也会提前通知相关单位做好准备。一次吃亏,就该引起重视。
他点点头,“这件事你放心,按你的建议,我一定会处理妥当,让你无后顾之忧。”
“谢谢莫所。”姜蕴宁顿了一下,“还有什么事情吗?”
莫清文摇头:“最重要的两件事,刚才都谈完了。接下来,就是把这次事件整理成报告,上交汇报。”
姜蕴宁点点头,语气沉稳:“等人员到齐,拆机确认核心模块故障原因之后,我会把具体报告写出来。技术故障不是人为操作导致,但上报不及时,加重了损失。责任方面,我会承担最终的管理责任,报告里也会如实记录上报环节的问题。”
柴油发电机启动延迟属于设备故障或设计缺陷,不算操作失误。但是,即便不是操作失误,轮值工程师没有按规定及时上报,这属于管理的责任。
无论如何,必须有人承担这件事的最终责任。
而姜蕴宁作为整个“晨曦”项目的负责人,理应对这次事故负起最终责任。
通过这件事情,莫清文越发佩服姜蕴宁,有能力有担当。
夜间十二点。
姜蕴宁回到办公室,重重落座,指尖轻轻敲着桌面,眉头紧锁。
只是一次断电,即使之前没有考虑断电的影响,怎么会导致这么严重的后果?
这次的试产测试并不需要高级工程师全程参与,只要按计划运行,轮值工程师即可记录数据和异常。可是,一次正常的行为还是出现了纰漏。
她的目光落在桌上那堆次品上,陷入沉思。
先进制程的晶圆价值极高,即便一片报废,也可能损失数十万到上百万人民币。而且,此时正处于研发阶段,每片晶圆都是关键样品,承载着多种设计和掺杂工艺。一旦损坏,不仅直接材料报废,研发进度也会被迫延后,关键工艺数据可能丢失,间接损失甚至远超晶圆本身的价值。
而现在,姜蕴宁面前有一小堆这样的残次品晶圆。
每一块报废的晶圆都像在质问——
光刻机是否存在设计漏洞?
还是整个系统在面对突发断电时,脆弱得不堪一击?
姜蕴宁坐在那里一动不动,突然,脑海中什么想法一闪而过。
她猛地抽出一张草稿纸,笔尖飞快划动。不是随意涂写,而是逐一勾勒出光刻机内部的供电链路。
激光器、电控系统、对准系统、真空泵……所有关键环节都被她串联在一张临时的框架图上,用箭头连成了复杂的网络。
“UpS 覆盖了哪一段?”
“电容能够维持几毫秒?”
“柴油发电机的启动延迟,空档期谁来顶上?”
纸面很快被密密麻麻的符号与时间曲线覆盖。她停顿,眉心紧锁,随即重重划掉,揉成一团,扔进垃圾桶。
“啪——”
一声脆响在办公室里面回荡。
她头也不抬,又换一张白纸,从电网到工厂,再到光刻机内部模块,重新推演。
笔尖摩擦纸面的“沙沙”声在寂静的办公室里格外清晰。
电源模块的缓冲?
备用电路的延迟?
每一个可能的缺陷都被她逐一写下,又一一划掉否定。
时间像被拉长又压缩,每一次推演都在延展、叠加,又一次次被推翻。
光刻机内含有数十万个零部件,是光学、真空、电源、控制、对准等多个复杂子系统的集合。姜蕴宁在推演的过程中,不仅要考虑理论,还要逐一对照实际的模块逻辑。
三个小时过去,垃圾桶旁已堆满了皱巴巴的草稿纸,像一座凌乱的小山。
姜蕴宁终于放下笔,疲惫地揉了揉眉心,额头沁出一层薄薄的细汗,仿佛打完了一场没有硝烟的硬仗。
她深深吐出一口气。
答案终于浮现出来——
果然,是设计中少考虑了一个关键环节:光刻机在瞬时断电时的保护存在空档,关键模块没有完整的过渡机制。
哪怕是只有十几毫秒的真空,也足以让数千万价值的晶圆瞬间报废。
是的,十几毫秒。
光刻机里涉及的瞬时断电保护确实是在毫秒级发生作用的——
光刻机的曝光、对准和真空系统对电力极为敏感;
真空泵一旦断电,真空环境会在几毫秒到几十毫秒内开始下降;
在这个短时间内,如果没有备用电源维持关键模块运行,晶圆可能立刻暴露在非理想环境下,导致曝光失败或损坏。
“旭日2号”光刻机设计时,确实配备了缓冲电源和惯性保持系统,但此次使用的模块未完全覆盖极端断电瞬间的需求。
姜蕴宁在此刻终于确认,这不是操作疏忽,而是系统设计上的空档。她的眉头紧锁,心中有一丝沉重——一个毫秒级的忽略,却造成如此巨大的损失。
将文字资料收拾好,而那一小堆残次品晶圆,她把它们整齐地收拢到桌角,方便观察和分析。虽然已经报废,但每一片都承载着研发阶段的重要工艺信息,不能随意丢弃。
姜蕴宁锁好办公室的门,走向宿舍。
夜色沉沉,研究所里静得出奇。
此时已经凌晨四点,她的思绪仍然无法平静,脑海里不断回想轮值工程师汇报的情况,以及自己对光刻机设计和断电应对机制的推演。
她不想让这次的事件影响了整个研发调试的进度,所以接下来的工作量加大了。
疲惫袭来,她靠在宿舍门口的门框上,深深吸了一口冷冽的夜风,才慢慢迈步走进房间。
躺在床上,长途奔波和连续思考让姜蕴宁的身体疲惫不堪,但思绪依旧清晰,睡意无从降临。
六点整,她准时起身,匆匆吃过早餐后便赶到实验室。
除了轮值工程师,那些被紧急召回的同事也已到齐。
“晨曦”项目“旭日2号”光刻机正处于研发调试阶段,团队成员大多正在休假。
按照惯例,实验室设有轮值工程师值班,负责按计划监控设备运行、记录数据和处理一般异常。平时,这套制度可以保证研发活动平稳进行,而不会打扰正在休假的核心成员。
然而,这次光刻机出现了突发异常,严重影响关键研发目标。于是,作为项目负责人的姜蕴宁只紧急召回了对故障分析和关键模块最熟悉的核心成员,而其他非关键人员则继续休假。因为这样既能迅速应对紧急情况,又避免无谓的人力浪费。
实验室里,每个人面色凝重,眉头紧锁,空气中弥漫着紧张而沉重的气息。
姜蕴宁微微弯腰,指尖轻轻敲击着桌面,像是在整理思路,也在提醒大家专注。她抬起头,扫视一圈,沉声问道:“都了解情况了吗?”